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積體電路生產線上各檢驗站缺陷數與產品良率關聯性之研究:A Study on Relationship between In-Line Inspection and Yield in IC Fabrication
唐麗英 李威儀 黃建隆 Tong, Lee-ing; Lee, Wei-i; Huang, Chien-lung;
品質學報
5:1 民87.06
頁135-152
TCI引用統計