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題 名:
矽深蝕刻技術在微機電系統的應用:Deep Silicon Etching Technology and Its Application to MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
72 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁30-38
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題 名:
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題 名:
矽深蝕刻中RIE LAG效應之消除:Eliminating of RIE LAG Effect in Deep Silicon Etching
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
87 2004.09[民93.09]
- 頁 次:
頁55-60
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題 名: