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雙圖樣微影技術之色彩平衡:Color Balancing for Double Patterning
郭育吟 王瑞宇 鄭維凱 Kuo, Yu-yin; Wang, Rui-yu; Cheng, Wei-kai;
先進工程學刊
12:3 2017.10[民106.10]
頁121-125
TCI引用統計