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Characterization of Surface Profiles of LPCVD Silicon Nitride Films by RBS-Profile:應用RBS-Profile 分析以低壓化學氣相沈積法鍍製氮化矽薄膜的表面分佈
陳玉瓊
中國工程學刊
10:2 1987.03[民76.03]
頁195-200
TCI引用統計