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Height Effect in Mass Transfer Analysis of the Sublimation of Solid Precursor for a CVD Process:化學氣相沉積程序中固態原料蒸發速率質傳分析之高度效應
蔡冠智 周更生
中國工程學刊
18:6 1995.11[民84.11]
頁771-776
TCI引用統計