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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
7:3=68 2001.03[民90.03]
- 頁 次:
頁170-186
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題 名:
Thermophysical Calculation of X-Ray Mask for Quarter-Micron Lithography:0.25微米X光成像光罩之熱物理計算
- 作者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
20:2 1996.03[民85.03]
- 頁 次:
頁158-165
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題 名: