刊名
類目
出版年
資料類型
檢索結果筆數(1)。 各著作權人授權國家圖書館,敬請洽詢 nclper@ncl.edu.tw
在搜尋的結果範圍內查詢:
全部
排序
每頁顯示
1
以感應耦合電漿二階段深度蝕刻氮化鎵:Short Time and Two-step Deep Etching of GaN in BCl[feb0]/Ar/N[feaf] Using Inductively Coupled Plasma
劉書史 張連璧 鄭明哲 Liu, S. S.; Chang, L. B.; Jeng, M. J.;
材料科學與工程
33:4 2001.12[民90.12]
頁239-246
TCI引用統計