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Electrostatic Charging Damage on the Characteristics and Reliability of Poly-Si TFT during Plasma Hydrogenation:電漿氫化時靜電充電危害對薄膜電晶體特性與可靠度之影響
陳啟文 吳明瑞 Chen, Chii-wen; Wu, Ming-ray;
明新學報
23 民88.12
頁127-131
TCI引用統計