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以原子層沈積法製作高品質氧化鋅薄膜及其元件之應用:High Quality ZnO Films Prepared by Atomic Layer Deposition and its Application in Device Construction
陳冠宇 李欣縈 李清庭 Chen, Kuan-yu; Lee, Hsin-ying; Lee, Ching-ting;
真空科技
23:2 2010.06[民99.06]
頁50-55
TCI引用統計