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題 名:
A Novel Method for Evaluating the Thickness of Silicon Membrane Using a Micromachined Acoustic Wave Sensor:
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作 者:
Lee,Chi-yuan;
Cheng,Ying-chou;
Wu,Tsung-tsong;
Chen,Yung-yu;
Chen,Wen-jong;
Pao,Shih-yung;
Chang,Pei-zen;
Chen,Ping-hei;
Yen,Kai-hsiang;
Xiao,Fu-yuan;
- 書刊名:
淡江理工學刊
- 卷 期:
7:2 2004.06[民93.06]
- 頁 次:
頁61-66
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被引用次數:期刊(0) 博士論文(0) 專書(0) 專書論文(0)
排除自我引用:0
共同引用:0
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