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多晶矽薄膜/鋁誘發多晶矽薄膜製備與特性之研究:The Research of the Polycrystalline Silicon Thin Film/ Aluminum Induced Polycrystalline Silicon Thin Film Process and Performance
董福慶 王瑞豪 郭政宜 陳家富
機械工業
299 2008.02[民97.02]
頁123-126
TCI引用統計