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題 名:
Phosphorus Diffusion Gettering Effect on the Quality of Silicon Wafer:以磷處理法改進矽晶膜之品質
- 作 者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
8:2 1984.04[民73.04]
- 頁 次:
頁152-158
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題 名: